[实用新型]一种注入机四极透镜底座有效
申请号: | 201921011803.1 | 申请日: | 2019-07-02 |
公开(公告)号: | CN210040119U | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 李春财;郭宝军 | 申请(专利权)人: | 吉林瑞能半导体有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 132013 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 圆型凹槽 本实用新型 四极透镜 注入机 销钉 圆台型结构 顶部设置 高压打火 高压绝缘 维修成本 支撑底座 高能量 圆型孔 中空的 底座 改进 保证 生产 | ||
1.一种注入机四极透镜底座,其特征在于,结构包括本体和销钉,所述本体为中空的圆台型结构,所述本体的顶部设置有圆型凹槽,所述圆型凹槽的中心部位设有一圆型孔,所述销钉固定安装于圆型凹槽的底部,所述圆型凹槽上设置有两个螺纹孔一和一个螺纹孔二,所述两个螺纹孔一的尺寸相同,所述两个螺纹孔一的底部各设有一个圆形的凸台,所述本体的外侧面下部设置有六处向外凸起的长方块。
2.根据权利要求1所述的一种注入机四极透镜底座,其特征在于,所述圆型孔的中心与两个螺纹孔一中心连线的中点重合,所述螺纹孔二中心和圆型孔中心的连线与两个螺纹孔一中心的连线成45°夹角。
3.根据权利要求1所述的一种注入机四极透镜底座,其特征在于,以所述两个螺纹孔一的中心连线为对称轴,每三个长方块位于对称轴的一侧,且同侧相邻的两个长方块与圆型孔中心的连线之间的夹角为45°。
4.根据权利要求1或3所述的一种注入机四极透镜底座,其特征在于,所述两个螺纹孔一的中心点与本体底部的中心点三点连线构成一平面,位于对称轴左侧且垂直于此平面的长方块底部设有一个盲孔,位于对称轴右侧且垂直于此平面的长方块底部开设有一定宽度与深度的凹槽,其余四个长方块底部,各设有一定深度的螺纹孔三。
5.根据权利要求4所述的一种注入机四极透镜底座,其特征在于,所述盲孔与各个螺纹孔三的中心均在同一圆周上。
6.根据权利要求1所述的一种注入机四极透镜底座,其特征在于,所述本体的内侧面与外侧面均为圆锥面,且锥度相同,锥角均为2.6°。
7.根据权利要求1所述的一种注入机四极透镜底座,其特征在于,所述销钉固定安装于圆型凹槽的底部,且销钉突出一定的高度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林瑞能半导体有限公司,未经吉林瑞能半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921011803.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种离子源以及一种离子注入机
- 下一篇:一种监别孔隙装置以及一种离子注入机