[实用新型]反应离子刻蚀机及其气体分配装置有效
| 申请号： | 201920972362.5 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN209880536U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 谭志明 | 申请（专利权）人： | 华智科技(国际)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/305 | 分类号： | H01J37/305;H01J37/30 |
| 代理公司： | 44281 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胥强;郭燕 |
| 地址： | 中国香港新界沙田火炭坳背*** | 国省代码： | 中国香港;HK |
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| 摘要： | 一种气体分配装置及反应离子刻蚀机，该气体分配装置的底座具有气体分配槽，气体可从进气孔进入到气体分配槽。覆盖在气体分配槽上敞开一侧的网片对气体形成阻力，令气体不能轻易从气体分配槽敞开一侧喷出，逼迫大部分气体分流到气体分配槽内，流向气体分配槽的各处。由于气体不断涌入，流入的气体流量比流出的大，因此由气体分配槽与网片形成的增压室内气压上升，并使得增压室内气体逐渐形成相同压强，保证气体均匀分布。增压室内气体压强上升至一定程度，可从网片的网状孔隙内排出，均匀的进入到排气板的出气孔中，然后再均匀的排入至反应腔内，提高刻蚀的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 气体分配槽 增压 网片 压强 气体分配装置 室内气体 反应离子刻蚀机 气体流量比 敞开 气体分流 气体形成 室内气压 网状孔隙 出气孔 反应腔 进气孔 均匀性 排气板 刻蚀 排出 喷出 底座 流出 覆盖 保证 | ||
【主权项】：
1.一种反应离子刻蚀机的气体分配装置,其特征在于，包括：/n底座，所述底座具有进气孔和与所述进气孔连通的气体分配槽，所述气体分配槽平铺设置在所述底座的内侧，用以分流经所述进气孔进入的气体；/n至少一个具有网状孔隙的网片，所述网片覆盖在所述气体分配槽上敞开的一侧，并与所述气体分配槽形成增压室，所述网片在所述气体分配槽上敞开的一侧形成阻力，使进入所述气体分配槽内的气体优先在气体分配槽内流动；/n以及排气板，所述排气板封盖在网片的外侧，所述排气板具有出气孔，所述增压室内的气体经所述出气孔进入到反应腔内。/n
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