[实用新型]一种半导体设备蚀刻装置雾化器部件专用清洗支架有效
| 申请号： | 201920953913.3 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN210160126U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 朱光宇;贺贤汉;李泓波;张正伟;王松朋;陈智慧 | 申请（专利权）人： | 富乐德科技发展（大连）有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 盖小静 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市保税区*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种半导体设备蚀刻装置雾化器部件专用清洗支架，属于蚀刻装置清洗治具领域。支撑板A一侧与底板A垂直连接，支撑板A另一侧设置有V型槽A，V型槽A与定位槽A相连，定位槽A两侧分别设置卡槽A；底板B上依次垂直设置支撑板B、支撑板C和支撑板D，支撑板B一侧设有V型槽B，支撑板B上还设有定位孔，支撑板C一侧设置有V型槽C，V型槽C与定位槽B相连，定位槽B两侧分别设置卡槽B，支撑板D一侧设有V型槽D，当支架A和支架B相连时，支撑板A一面与支撑板C一面贴合，定位槽A和定位槽B相通，卡槽B和对应的卡槽A通过键连接。本实用新型可以提高支撑雾化器部件的稳定性，不再需要人工支撑，操作简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 蚀刻 装置 雾化器 部件 专用 清洗 支架 | ||
【主权项】：
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