[实用新型]拉晶炉掺杂装置有效
| 申请号： | 201920919555.4 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN210177001U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李磊;李小红;芮阳;王忠保;闫龙;赵延祥;小暮康弘;王黎光;徐庆晧 | 申请（专利权）人： | 宁夏银和半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种拉晶炉掺杂装置，属于多晶硅或单晶硅生产技术领域。包括掺杂管、隔断阀及掺杂料加注组件，掺杂管一端固定连接拉晶炉台，掺杂料加注组件连接掺杂管另一端，隔断阀设置于掺杂管上，将掺杂料加注组件与拉晶炉台隔离。掺杂料加注组件包括掺杂料储槽及设置在掺杂料储槽上的惰性气体置换管件及稳压管件。掺杂作业时，关闭隔断阀，向掺杂料储槽中按理论计算量加入掺杂剂，向掺杂料储槽中通入氩气进行置换，置换完成后，打通稳压管件，保证掺杂剂通畅下料，操作简单，安全可靠。实现了独立加料，可根据实际生产需要，精准计算好掺杂剂的用量，确保拉制的晶棒的电阻率，保证拉晶合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 拉晶炉 掺杂 装置 | ||
【主权项】：
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