[实用新型]拉晶炉掺杂装置

权利要求书

1.一种拉晶炉掺杂装置，其特征在于，包括掺杂管、隔断阀及掺杂料加注组件，所述掺杂管一端固定连接拉晶炉台，所述掺杂料加注组件连接所述掺杂管远离拉晶炉台的一端，所述隔断阀设置于所述掺杂管上，将所述掺杂料加注组件与拉晶炉台隔离；

所述掺杂料加注组件包括掺杂料储槽、惰性气体置换管件及稳压管件，所述掺杂料储槽的出料端连接所述掺杂管，且位于所述隔断阀的阀前，所述掺杂料储槽上端设置有掺杂料加料口，所述掺杂料加料口上具有密封盖体，所述惰性气体置换管件及所述稳压管件分别连接所述掺杂料储槽。

2.如权利要求1所述的拉晶炉掺杂装置，其特征在于，所述惰性气体置换管件包括惰性气体入口管及放空管，所述惰性气体入口管连通所述掺杂料储槽，且设置有置换阀，所述放空管连通所述掺杂料储槽，且设置有放空阀。

3.如权利要求2所述的拉晶炉掺杂装置，其特征在于，所述稳压管件的一端连通所述掺杂料储槽的上部，另一端连通所述掺杂料储槽的下部，且所述稳压管件上设置有稳压阀。

4.如权利要求3所述的拉晶炉掺杂装置，其特征在于，所述稳压管件远离所述掺杂料储槽下部的一端与所述惰性气体入口管连通，且所述稳压阀与所述置换阀并联设置。

5.如权利要求3～4中任意一项所述的拉晶炉掺杂装置，其特征在于，所述放空管远离所述掺杂料储槽的一端连接有真空发生管件，所述真空发生管件上设置有真空调节阀，所述掺杂料储槽上设置有真空表，所述真空表与所述真空调节阀联锁。

6.如权利要求5所述的拉晶炉掺杂装置，其特征在于，所述放空管上还设置有氧含量分析仪，所述氧含量分析仪与所述置换阀和所述稳压阀联锁。

7.如权利要求1所述的拉晶炉掺杂装置，其特征在于，所述隔断阀为电磁阀或气动阀。