[实用新型]一种离子源以及一种离子注入机有效
| 申请号： | 201920891415.0 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN210040118U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 白晓鹏;廖宜专;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/16;H01J37/317 |
| 代理公司： | 31313 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 李镝的 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种离子源，包括：壳体，其具有可容纳离子源气体的第一空腔，其中所述壳体具有用于引入离子源气体的入口以及用于引出等离子体的出口；以及多孔层，其布置在壳体的第一空腔中，其中所述多孔层具有开放的孔隙，并且其中所述孔隙的直径在从所述入口到所述出口的方向上增大。通过该离子源，能够提高所生成的等离子体的均匀度，从而提高产品质量并减少因频繁调节电流频率造成的灯丝寿命损失，此外，还能够增加离子源气体的利用率，增加等离子体的生成速度。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 离子源气体 壳体 第一空腔 多孔层 离子源 本实用新型 灯丝寿命 电流频率 均匀度 出口 容纳 引入 开放 | ||
【主权项】：
1.一种离子源，其特征在于，包括：/n壳体，其具有可容纳离子源气体的第一空腔，其中所述壳体具有用于引入离子源气体的入口以及用于引出等离子体的出口；以及/n多孔层，其布置在壳体的第一空腔中，其中所述多孔层具有开放的孔隙，并且其中所述孔隙的直径在从所述入口到所述出口的方向上增大。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德淮半导体有限公司，未经德淮半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920891415.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：荧光灯玻璃处理回收系统
- 下一篇：一种注入机四极透镜底座
