[实用新型]一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机

摘要

本实用新型提供一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机，包括喷水盘、固定杆、L型连接管、连接法兰、注入口、混合箱、微型泵以及输送管，固定杆安装在真空罐内壁上侧，固定杆下端面安装有喷水盘，L型连接管安装在真空罐上端面，混合箱固定在真空镀膜机主体上端面右侧，微型泵装配在混合箱内部下侧，微型泵上端面连接有输送管，注入口设置在混合箱上端面左侧，连接法兰安装在混合箱左端面，L型连接管通过连接法兰与混合箱左端面相连接，该设计解决了原有低温真空镀膜机真空室容易受到污染的问题，本实用新型结构合理，方便真空室清洁，避免污染，镀膜质量高。