[实用新型]一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机

说明书

本实用新型提供一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机，包括喷水盘、固定杆、L型连接管、连接法兰、注入口、混合箱、微型泵以及输送管，固定杆安装在真空罐内壁上侧，固定杆下端面安装有喷水盘，L型连接管安装在真空罐上端面，混合箱固定在真空镀膜机主体上端面右侧，微型泵装配在混合箱内部下侧，微型泵上端面连接有输送管，注入口设置在混合箱上端面左侧，连接法兰安装在混合箱左端面，L型连接管通过连接法兰与混合箱左端面相连接，该设计解决了原有低温真空镀膜机真空室容易受到污染的问题，本实用新型结构合理，方便真空室清洁，避免污染，镀膜质量高。

技术领域

本实用新型是一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机，属于真空镀膜机技术领域。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有的低温真空镀膜机真空室容易受到污染，低温真空镀膜机的真空室长时间使用后，真空室内会存在镀膜残留的污垢，不加以清除，影响了真空室内部的清洁，现在急需一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机来解决上述出现的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构合理，方便真空室清洁，避免污染，镀膜质量高。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机，包括真空镀膜机主体、真空罐、防污染机构、控制面板以及支撑腿，所述支撑腿安装在真空镀膜机主体下端面，所述控制面板安装在真空镀膜机主体前端面上侧，所述真空罐固定在真空镀膜机主体上端面左侧，所述防污染机构设置在真空镀膜机主体上侧，所述防污染机构包括喷水盘、固定杆、L型连接管、连接法兰、注入口、混合箱、微型泵以及输送管，所述固定杆安装在真空罐内壁上侧，所述固定杆下端面安装有喷水盘，所述L型连接管安装在真空罐上端面，所述混合箱固定在真空镀膜机主体上端面右侧，所述微型泵装配在混合箱内部下侧，所述微型泵上端面连接有输送管，所述注入口设置在混合箱上端面左侧，所述连接法兰安装在混合箱左端面，所述L型连接管通过连接法兰与混合箱左端面相连接。

进一步地，所述支撑腿下端面设有防滑垫。

进一步地，所述喷水盘下端面设有多个喷水口。

进一步地，所述喷水盘为圆形状喷水盘，所述混合箱填充有清洗混合液。

进一步地，所述微型泵通过导线与外界电源相连接。

进一步地，所述固定杆设有四组，且四组固定杆规格相同。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机，因本实用新型添加了喷水盘、固定杆、L型连接管、连接法兰、注入口、混合箱、微型泵以及输送管，该设计避免低温真空镀膜机真空室的污染，解决了原有低温真空镀膜机真空室容易受到污染的问题，提高了本实用新型的防污染效果。

因支撑腿下端面设有防滑垫，该设计增加了支撑腿的使用稳定性，因喷水盘下端面设有多个喷水口，该设计方便了真空室的清洁，因喷水盘为圆形状喷水盘，该设计通过圆形状的喷水盘，方便真空室的有效清洁，本实用新型结构合理，方便真空室清洁，避免污染，镀膜质量高。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机的结构示意图；

图2为本实用新型一种可防止真空室受到污染的低温真空镀膜机中防污染机构的剖面图；