[实用新型]微压力传感器检漏用漏气报警装置有效
| 申请号： | 201920796051.8 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN209764362U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 李书进;卫胭霞;刘嘉 | 申请（专利权）人： | 无锡胜脉电子有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 32331 苏州国卓知识产权代理有限公司 | 代理人： | 明志会 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体检测技术领域的微压力传感器检漏用漏气报警装置，包括控制箱、气源、充气阀、压力表、平衡阀和箱体，所述箱体的内部设有标准通道和测试通道，所述箱盖上设有若干与标准通道和测试通道相连通的标准接口和测试接口，且标准接口和测试接口之间通过管路连接差压传感器，所述箱体的一端安装有温度传感器，所述标准通道和测试通道的内壁安装有加热器，箱体的另一端安装压力传感器，且箱体另一端设有标准通道和测试通道相连通的泄压口和增压口，泄压口和增压口上分别安装泄压阀和增压阀，避免非泄露引起的差压，大大提高了检漏的准确度，充气时间和稳定时间短，检漏速度提高76%以上，采用模块化设计，连接安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 标准通道 测试通道 检漏 标准接口 测试接口 泄压口 增压口 压力表 漏气报警装置 微压力传感器 加热器 半导体检测 本实用新型 差压传感器 模块化设计 温度传感器 压力传感器 准确度 管路连接 连接安全 充气阀 控制箱 平衡阀 泄压阀 增压阀 内壁 气源 箱盖 充气 泄露 | ||
【主权项】：
1.微压力传感器检漏用漏气报警装置，其特征在于：包括控制箱、气源、充气阀、压力表、平衡阀和箱体，所述箱体的内部设有标准通道和测试通道，所述气源连接于主管路的一端，所述压力表和充气阀安装于主管路的一端上，所述箱体前侧固定有箱盖，所述箱盖上设有若干与标准通道和测试通道相连通的标准接口和测试接口，所述标准接口和测试接口通过支管路及安装于支管路上的平衡阀与主管路的另一端相连接，且标准接口和测试接口之间通过管路连接差压传感器，所述箱体的一端安装有温度传感器，所述标准通道和测试通道的内壁安装有加热器，箱体的另一端安装压力传感器，且箱体另一端设有标准通道和测试通道相连通的泄压口和增压口，泄压口和增压口上分别安装泄压阀和增压阀，所述控制箱位于箱体上，所述控制箱包括电源、AVR微控制器、报警器和若干指示灯，所述充气阀、平衡阀、温度传感器、加热器、压力传感器、泄压阀、增压阀、差压传感器及报警器和若干指示灯均通过AVR微控制器与电源电性连接。/n
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