[实用新型]微压力传感器检漏用漏气报警装置

说明书

本实用新型公开了半导体检测技术领域的微压力传感器检漏用漏气报警装置，包括控制箱、气源、充气阀、压力表、平衡阀和箱体，所述箱体的内部设有标准通道和测试通道，所述箱盖上设有若干与标准通道和测试通道相连通的标准接口和测试接口，且标准接口和测试接口之间通过管路连接差压传感器，所述箱体的一端安装有温度传感器，所述标准通道和测试通道的内壁安装有加热器，箱体的另一端安装压力传感器，且箱体另一端设有标准通道和测试通道相连通的泄压口和增压口，泄压口和增压口上分别安装泄压阀和增压阀，避免非泄露引起的差压，大大提高了检漏的准确度，充气时间和稳定时间短，检漏速度提高76%以上，采用模块化设计，连接安全可靠。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体为微压力传感器检漏用漏气报警装置。

背景技术

传统半导体产品检漏方法有涂抹法，压力变化法，流量法，超声波法。由于涂抹法比较实用，而且费用低，为大多数人接受，但泡沫会进入产品，造成污染。准确性也差，所以为了提高准确性以及可操作性，一般采用差压法检漏。

差压式检漏方法虽然和传统检漏方法相比提高了检测效率和可操作性，但对于多通道型检漏法相比，仍然不能满足生产产能的要求，因为气温压力容器，充气时间，稳定时间等等约束了测试时间，一旦时间缩短，会大大影响精度，另外漏气判断也不准确，而且被测物受温度的变化影响引起的压力变化不同，因而产生非泄漏引起的差压，影响检漏。

基于此，本实用新型设计了微压力传感器检漏用漏气报警装置，以解决上述提到的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种微压力传感器检漏用漏气报警装置，避免非泄露引起的差压，大大提高了检漏的准确度，充气时间和稳定时间短，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：微压力传感器检漏用漏气报警装置，包括控制箱、气源、充气阀、压力表、平衡阀和箱体，所述箱体的内部设有标准通道和测试通道，所述气源连接于主管路的一端，所述压力表和充气阀安装于主管路的一端上，所述箱体前侧固定有箱盖，所述箱盖上设有若干与标准通道和测试通道相连通的标准接口和测试接口，所述标准接口和测试接口通过支管路及安装于支管路上的平衡阀与主管路的另一端相连接，且标准接口和测试接口之间通过管路连接差压传感器，所述箱体的一端安装有温度传感器，所述标准通道和测试通道的内壁安装有加热器，箱体的另一端安装压力传感器，且箱体另一端设有标准通道和测试通道相连通的泄压口和增压口，泄压口和增压口上分别安装泄压阀和增压阀，所述控制箱位于箱体上，所述控制箱包括电源、AVR微控制器、报警器和若干指示灯，所述充气阀、平衡阀、温度传感器、加热器、压力传感器、泄压阀、增压阀、差压传感器及报警器和若干指示灯均通过AVR微控制器与电源电性连接。

优选的，所述标准通道和测试通道均为铝制腔体，内壁光滑。

优选的，所述指示灯的数量与差压传感器数量相同。

优选的，所述箱盖通过螺钉固定于箱体上。

优选的，所述箱体后侧安装有箱门，且箱门与箱体之间设有密封垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过在恒温恒压的箱体内进行检漏测试，测试灵敏度高，避免实验前温度及压力的影响，避免非泄露引起的差压，大大提高了检漏的准确度，而且在恒温恒压的箱体内采用多通道测试，充气时间和稳定时间短，检漏速度提高76%以上，采用模块化设计，连接安全可靠，设备拆卸方便，灵敏度更高，分辨率更高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；