[实用新型]一种化学气相沉积设备及其恒压原料保护装置

摘要

本申请实施例涉及等离子体化学气相沉积技术领域，具体地，涉及一种化学气相沉积设备及其恒压原料保护装置。该恒压原料保护装置包括通过管路依次连通的气源、第一控制阀、第一调压阀、缓冲罐、第二调压阀、单体罐组件、第二控制阀以及抽真空装置；所述第一控制阀和第二控制阀均具有连通状态和断开状态；当所述第一控制阀处于断开状态、且所述第二控制阀处于连通状态时，所述气源与所述缓冲罐和所述单体罐组件之间断开，所述抽真空装置与所述缓冲罐和所述单体罐组件之间连通，通过所述抽真空装置对所述管路进行抽真空，用于使所述气源与空气隔绝。该恒压原料保护装置具有能够隔绝空气、保证气源压力稳定、快速清理管路和控制简单的特点。

主权项

1.一种恒压原料保护装置，其特征在于，包括通过管路依次连通的气源、第一控制阀、第一调压阀、缓冲罐、第二调压阀、单体罐组件、第二控制阀以及抽真空装置；所述第一控制阀和第二控制阀均具有连通状态和断开状态；/n所述单体罐组件包括至少一个原料储罐，当所述原料储罐的数量大于或等于二时，所述原料储罐之间并联设置；/n当所述第一控制阀处于断开状态、且所述第二控制阀处于连通状态时，所述气源与所述缓冲罐和所述单体罐组件之间断开，所述抽真空装置与所述缓冲罐和所述单体罐组件之间连通，通过所述抽真空装置对所述管路进行抽真空，用于使所述气源与空气隔绝。/n