[实用新型]一种化学气相沉积设备及其恒压原料保护装置

权利要求书

1.一种恒压原料保护装置，其特征在于，包括通过管路依次连通的气源、第一控制阀、第一调压阀、缓冲罐、第二调压阀、单体罐组件、第二控制阀以及抽真空装置；所述第一控制阀和第二控制阀均具有连通状态和断开状态；

所述单体罐组件包括至少一个原料储罐，当所述原料储罐的数量大于或等于二时，所述原料储罐之间并联设置；

当所述第一控制阀处于断开状态、且所述第二控制阀处于连通状态时，所述气源与所述缓冲罐和所述单体罐组件之间断开，所述抽真空装置与所述缓冲罐和所述单体罐组件之间连通，通过所述抽真空装置对所述管路进行抽真空，用于使所述气源与空气隔绝。

2.根据权利要求1所述的恒压原料保护装置，其特征在于，所述缓冲罐的底部安装有用于对所述缓冲罐进行过压保护的安全阀。

3.根据权利要求2所述的恒压原料保护装置，其特征在于，所述缓冲罐包括罐体、以及设置在所述罐体上部的进气口和出气口，所述进气口与所述第一调压阀的出口连通，所述出气口与所述第二调压阀的进口连通；

所述罐体的容积为0.1L～10L。

4.根据权利要求1所述的恒压原料保护装置，其特征在于，还包括安装于所述单体罐组件上的压力传感器，所述压力传感器用于检测所述单体罐组件的输出压力。

5.根据权利要求4所述的恒压原料保护装置，其特征在于，还包括信号连接的控制系统和压力报警装置；

所述压力传感器与所述控制系统信号连接，用于将检测到的压力值传输给所述控制系统；

所述控制系统比较接收到的所述压力值和预设压力阈值，当所述压力值大于或等于所述预设压力阈值时，所述控制系统控制所述压力报警装置进行报警。

6.根据权利要求1所述的恒压原料保护装置，其特征在于，所述管路包括多段聚四氟乙烯透明管；所述抽真空装置为真空泵。

7.根据权利要求1所述的恒压原料保护装置，其特征在于，所述第一调压阀的压力调节范围为0.001bar～5bar；所述第二调压阀的压力调节范围为0.001bar～5bar。

8.根据权利要求1-7任一项所述的恒压原料保护装置，其特征在于，所述气源用于提供惰性气体。

9.根据权利要求8所述的恒压原料保护装置，其特征在于，所述惰性气体为N₂、He、Ar、Ne或Kr。

10.一种化学气相沉积设备，包括机架和安装于所述机架的反应容器，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的恒压原料保护装置；其中，

所述恒压原料保护装置中的缓冲罐和单体罐组件通过固定板安装于所述机架上；

所述单体罐组件的原料储罐通过导液管与所述反应容器连通，所述导液管上设置有计量系统。