[实用新型]OLED蒸镀用精密金属遮罩有效
| 申请号： | 201920691316.8 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN210134157U | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 蒋国忠;宋荣华;高远;王志安 | 申请（专利权）人： | 江西联创致光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 黄新平 |
| 地址： | 330029 江西省南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种OLED蒸镀用精密金属遮罩，其特征在于，金属基材上均匀设置结构相同的凹陷区，凹陷区是侧面为弧形的圆台体空腔，圆台体空腔的大端面开在金属基材的第一主表面上，圆台体空腔的小端面在金属基材内；孔洞的外端面开在金属基材的第二主表面上，孔洞的内端面与圆台体空腔的小端面为共同端面；圆台体空腔大端面、小端面与金属基材纵向截面相交成两端点，该两端点的连线与金属基材第一主表面、第二主表面成45‑65度蒸镀角。本实用新型是透过蚀刻激光复合制作法所制作出来的，因其第二主表面与孔洞开口的侧边壁面接近垂直无斜坡，其交界处无尖点，结构相对稳定，且孔洞大小的精度达到≤±2um，蒸镀角达到45‑65度。 | ||
| 搜索关键词： | oled 蒸镀用 精密 金属 | ||
【主权项】：
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