[实用新型]一种晶元全自动传输炉管

摘要

本实用新型公开了一种晶元全自动传输炉管，其结构包括控制器、框架、第一炉管底盘、第一炉管、第一风冷降温器、第二炉管底盘、第二炉管、排气烟囱、第二风冷降温器、装载装置、移动杆，所述控制器右侧底部设有框架。本实用新型的一种晶元全自动传输炉管，通过设置了第一风冷降温器，保温结束后，根据需要，采用风冷加速降温，待温度降至80℃以下，炉管停止工作，解决了现有技术降温速度低，导致加工速度慢的现象，通过设置了装载装置，当需要对晶元进行拿取时，通过装载装置的机械手臂将晶元进行夹起，将晶元放到指定的位置，可以避免晶元温度过高而出现烫伤的情况，解决了加工后温度太高，导致拿取不便的现象。