[实用新型]一种晶元全自动传输炉管

说明书

本实用新型公开了一种晶元全自动传输炉管，其结构包括控制器、框架、第一炉管底盘、第一炉管、第一风冷降温器、第二炉管底盘、第二炉管、排气烟囱、第二风冷降温器、装载装置、移动杆，所述控制器右侧底部设有框架。本实用新型的一种晶元全自动传输炉管，通过设置了第一风冷降温器，保温结束后，根据需要，采用风冷加速降温，待温度降至80℃以下，炉管停止工作，解决了现有技术降温速度低，导致加工速度慢的现象，通过设置了装载装置，当需要对晶元进行拿取时，通过装载装置的机械手臂将晶元进行夹起，将晶元放到指定的位置，可以避免晶元温度过高而出现烫伤的情况，解决了加工后温度太高，导致拿取不便的现象。

技术领域

本实用新型是一种晶元全自动传输炉管，属于炉管领域。

背景技术

炉管由托轮倾斜安装在支架上，由变频调速电机经链轮链条带动旋转，炉料由进料螺旋送到炉头的炉管内，炉料随着炉管的旋转而均匀翻动，并自动向炉尾流动，流到炉尾的出料装置。同时，氨气则从炉尾逆着炉料的流动方向向炉头流动，随着科学技术的飞速发展，一种晶元全自动传输炉管也得到了技术改进，使用时对晶元实施加热，使使用效果更好，但现有技术降温速度低，导致加工速度慢，加工后温度太高，导致拿取不便。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种晶元全自动传输炉管，以解决现有技术降温速度低，导致加工速度慢，加工后温度太高，导致拿取不便的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种晶元全自动传输炉管，包括控制器、框架、第一炉管底盘、第一炉管、第一风冷降温器、第二炉管底盘、第二炉管、排气烟囱、第二风冷降温器、装载装置、移动杆，所述控制器右侧底部设有框架，所述框架顶部设有第一炉管底盘，所述第一炉管底盘顶部与第一炉管活动配合，所述第一炉管后端部连接有第一风冷降温器，所述第一炉管底盘左侧设有第二炉管底盘，所述第二炉管底盘顶部与第二炉管活动配合，所述排气烟囱均贯穿第一炉管与第二炉管顶端中部与内部相连接，所述第二炉管后端部连接有第二风冷降温器，所述框架前端部连接有装载装置，所述第一炉管底盘与第二炉管底盘底部均固定连接有移动杆，所述装载装置由固定座、支撑臂、连接臂、机械手臂组成，所述固定座顶部连接有支撑臂，所述支撑臂顶部通过链角与连接臂活动连接，所述连接臂顶部通过链角与机械手臂活动连接，所述第一炉管、第一风冷降温器、第二炉管、第二风冷降温器、装载装置与控制器电连接。

进一步地，所述第一炉管内部的最高温度为750℃。

进一步地，所述第一炉管的直径为400毫米。

进一步地，所述控制器可控制的最大功率为15千瓦。

进一步地，所述机械手臂可旋转的角度为360度。

进一步地，所述第一炉管内部采用高纯度石英材质，保证洁净度。

本实用新型的一种晶元全自动传输炉管，通过设置了第一风冷降温器，保温结束后，根据需要，采用风冷加速降温，待温度降至80℃以下，炉管停止工作，解决了现有技术降温速度低，导致加工速度慢的现象，通过设置了装载装置，当需要对晶元进行拿取时，通过装载装置的机械手臂将晶元进行夹起，将晶元放到指定的位置，可以避免晶元温度过高而出现烫伤的情况，解决了加工后温度太高，导致拿取不便的现象。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型第一炉管的内部结构示意图；

图3为本实用新型装载装置的结构示意图。