[实用新型]一种晶元全自动传输炉管

权利要求书

1.一种晶元全自动传输炉管，包括控制器(1)、框架(2)、第一炉管底盘(3)、第一炉管(4)、第一风冷降温器(5)、第二炉管底盘(6)、第二炉管(7)、排气烟囱(8)、第二风冷降温器(9)、移动杆(11)，其特征是：还包括装载装置(10)，所述控制器(1)右侧底部设有框架(2)，所述框架(2)顶部设有第一炉管底盘(3)，所述第一炉管底盘(3)顶部与第一炉管(4)活动配合，所述第一炉管(4)后端部连接有第一风冷降温器(5)，所述第一炉管底盘(3)左侧设有第二炉管底盘(6)，所述第二炉管底盘(6)顶部与第二炉管(7)活动配合，所述排气烟囱(8)分别贯穿第一炉管(4)与第二炉管(7)顶端中部，所述第二炉管(7)后端部连接有第二风冷降温器(9)，所述框架(2)前端部连接有装载装置(10)，所述第一炉管底盘(3)与第二炉管底盘(6)底部分别固定连接有移动杆(11)，所述装载装置(10)由固定座(101)、支撑臂(102)、连接臂(103)、机械手臂(104)组成，所述固定座(101)顶部连接有支撑臂(102)，所述支撑臂(102)顶部通过链角与连接臂(103)活动连接，所述连接臂(103)顶部通过链角与机械手臂(104)活动连接，所述第一炉管(4)、第一风冷降温器(5)、第二炉管(7)、第二风冷降温器(9)、装载装置(10)与控制器(1)电连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶元全自动传输炉管，其特征在于：所述第一炉管(4)内部的最高温度为750℃。

3.根据权利要求1所述的一种晶元全自动传输炉管，其特征在于：所述第一炉管(4)的直径为400毫米。

4.根据权利要求1所述的一种晶元全自动传输炉管，其特征在于：所述控制器(1)可控制的最大功率为15千瓦。

5.根据权利要求1所述的一种晶元全自动传输炉管，其特征在于：所述机械手臂(104)可旋转的角度为360度。