[实用新型]一种保持派瑞林镀膜沉积腔清洁的装置

摘要

本实用新型公开了一一种保持沉积腔清洁的装置，属于化学气相沉积技术领域，包括通过联接环安装在沉积腔侧壁上的加热器及通过空气阀安装在加热器上的至少一个空气过滤器，联接环与沉积腔连通，加热器与空气过滤器之间通过空气阀连通，空气过滤器的一侧设有与其连通的进气口，当沉积腔内待加工件被取出时，沉积腔压力回到正常大气压下，沉积腔外的空气通过空气过滤器过滤，沉积腔外气体通过空气阀进入沉积室内。本实用新型腔外气体通过空气过滤器和加热器进入沉积室内，避免造成成膜后产品表面颗粒吸附，保证加工件在真空沉积室内镀膜后其表面质量的洁净要求，有效的提高加工的产品质量。

主权项

1.一种保持派瑞林镀膜沉积腔清洁的装置，其特征在于，包括通过联接环(1)安装在派瑞林镀膜沉积腔侧壁上的加热器(2)及通过空气阀(3)安装在所述加热器(2)上的至少一个空气过滤器(4)，所述联接环(1)与所述派瑞林镀膜沉积腔连通，所述加热器(2)与所述空气过滤器(4)之间通过所述空气阀(3)连通，所述空气过滤器(4)的一侧设有与其连通的进气口(5)，当所述派瑞林镀膜沉积腔内待加工件被取出时，所述派瑞林镀膜沉积腔压力回到正常大气压下，所述派瑞林镀膜沉积腔外的空气通过所述空气过滤器(4)过滤，所述派瑞林镀膜沉积腔外气体通过空气阀(3)进入沉积室内。/n