[实用新型]用于热等静压制备管型靶材的支撑件有效
申请号: | 201920615132.3 | 申请日: | 2019-04-29 |
公开(公告)号: | CN210420134U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 刘国军;李胜春;谈笑天;苏志倩;朱铁军 | 申请(专利权)人: | 汉能新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B30B15/00;B30B15/34 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 姜波 |
地址: | 101407 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件,所述热等静压工艺中使用包套,所述支撑件为能够插入包套内的柱体,所述支撑件和所述包套之间的间隙为15%‑30%的包套内径。与现有技术相比,本实用新型提供的用于热等静压制备管型靶材的支撑件包括以下优点:可以有效的降低热等静压工艺中,由于受刚性包套结构影响和靶坯自身重力所带来的靶坯烧结过程的收缩不均匀问题。 | ||
搜索关键词: | 用于 静压 制备 管型靶材 支撑 | ||
【主权项】:
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