[实用新型]用于热等静压制备管型靶材的支撑件

说明书

本实用新型公开了一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件，所述热等静压工艺中使用包套，所述支撑件为能够插入包套内的柱体，所述支撑件和所述包套之间的间隙为15％‑30％的包套内径。与现有技术相比，本实用新型提供的用于热等静压制备管型靶材的支撑件包括以下优点：可以有效的降低热等静压工艺中，由于受刚性包套结构影响和靶坯自身重力所带来的靶坯烧结过程的收缩不均匀问题。

技术领域

本实用新型涉及靶材制备领域，尤其涉及一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件。

背景技术

近年来，随着溅射靶材和溅射技术的日益发展，溅射靶材在溅射技术中起到了越来越重要的作用，溅射靶材的质量直接影响到了溅射后的成膜质量。溅射靶材主要分为平面靶材和管型靶材，与平面靶相比，管型靶材的利用率更高且溅射后成膜质量更好，在靶材市场具有巨大的发展潜力。管型钼钠靶材材料性能的优劣直接影响到太阳能电池的光电转化效率。

管型靶材结构特殊，采用常规的靶材制备技术很难提高靶材致密度，所以通常采用热等静压工艺制备管型靶材。对于采用热等静压工艺制备管型靶材的操作中，由于受刚性包套结构影响和靶坯自身重力的原因，对于管型靶坯烧结后一般呈现中间收缩大，上下两端收缩小的情况，不规则的变形增加了靶坯机械加工损耗，并影响靶坯的尺寸，因此如何控制管型靶坯烧结过程收缩的均匀性是热等静压工艺的难点。

实用新型内容

为了解决上述热等静压工艺中管型靶坯烧结过程收缩的均匀性，本实用新型提供了一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件，所述热等静压工艺中使用包套，所述支撑件为能够插入包套内的柱体，所述支撑件和所述包套之间的间隙为15％-30％的包套内径。

可选的，所述支撑件的长度大于或等于所述包套的长度。

与现有技术相比，本实用新型提供的用于热等静压制备管型靶材的支撑件包括以下优点：可以有效的降低热等静压工艺中，由于受刚性包套结构影响和靶坯自身重力所带来的靶坯烧结过程的收缩不均匀问题。

附图说明

附图用来提供对本实实用新型技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本实用新型的技术方案，并不构成对本实用新型技术方案的限制。

图1为本实用新型一实施例示出的包套内部有支撑件的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例示出的支撑件横截面结构示意图；

图3为本实用新型一实施例示出的支撑件横截面结构示意图；

图4为本实用新型一实施例示出的支撑件横截面结构示意图；

图5为本实用新型一实施例示出的支撑件横截面结构示意图。

附图标记：10-支撑件，20-包套，30-靶坯。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

等静压技术是利用密闭容器内的制品在各向均等的超高压力状态下成型的技术。根据成型和固结时的温度高低，可分为冷等静压和热等静压。热等静压工艺将制品放置到密闭的容器中，一般通过让容器内通入高压气体，向制品施加各向同等的压力，同时施以高温，在高温高压的作用下，制品得以烧结和致密化。热等静压工艺中需要使用包套。

一般的，热等静压的操作流程如下：