[实用新型]用于热等静压制备管型靶材的支撑件有效
申请号: | 201920615132.3 | 申请日: | 2019-04-29 |
公开(公告)号: | CN210420134U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 刘国军;李胜春;谈笑天;苏志倩;朱铁军 | 申请(专利权)人: | 汉能新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B30B15/00;B30B15/34 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 姜波 |
地址: | 101407 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 静压 制备 管型靶材 支撑 | ||
1.一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件(10),所述热等静压工艺中使用包套(20),其特征在于,所述支撑件(10)为能够插入包套(20)内的柱体,所述支撑件(10)和所述包套(20)之间的间隙为15%-30%的包套(20)内径。
2.根据权利要求1所述的支撑件(10),其特征在于,所述支撑件(10)的长度大于或等于所述包套(20)的长度。
3.根据权利要求1或2所述的支撑件(10),其特征在于,所述支撑件(10)横截面为带有凸起的圆形。
4.根据权利要求3所述的支撑件(10),其特征在于,所述凸起的形状为三角形。
5.根据权利要求3所述的支撑件(10),其特征在于,所述凸起的数量为12-64个。
6.根据权利要求1或2所述的支撑件(10),其特征在于,所述支撑件(10)横截面为正多边形。
7.根据权利要求1或2所述的支撑件(10),其特征在于,所述支撑件(10)横截面为正多角形。
8.根据权利要求1或2所述的支撑件,其特征在于,所述支撑件(10)横截面为外环带有凸起的圆环形。
9.根据权利要求8所述的支撑件(10),其特征在于,所述圆环的厚度大于等于2mm。
10.根据权利要求1或2所述的支撑件(10),其特征在于,所述支撑件(10)的材料为石墨。
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