[实用新型]修整盘掉落侦测装置及研磨垫修整装置有效
| 申请号： | 201920603388.2 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN210010848U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 汪康;田得暄;辛君;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B49/08;B24B51/00 |
| 代理公司： | 31295 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种修整盘掉落侦测装置及研磨垫修整装置，修整盘掉落侦测装置包括：第一液位传感器、第一液体通道、第二液体通道以及弹性薄片；第一液体通道嵌入至固定盘中，并且其第一端口延伸至固定盘下表面，固定盘下表面用于固定修整盘；弹性薄片设置于第一端口，并封闭第一端口；第二液体通道与第一液体通道的第二端口连接，并且第二液体通道具有沿着高度方向竖直设置的竖直子通道，第一液位传感器设置于竖直子通道的内壁；当固定盘固定有修整盘时，第二液体通道中液体液面高于第一液位传感器；当修整盘从固定盘脱落时，第二液体通道中液体液面低于第一液位传感器。本实用新型的修整盘掉落侦测装置能够侦测修整盘是否从固定盘脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 液体通道 修整盘 固定盘 第一液位传感器 侦测装置 掉落 本实用新型 弹性薄片 液体液面 下表面 子通道 竖直 端口连接 竖直设置 修整装置 研磨垫 内壁 侦测 嵌入 封闭 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种修整盘掉落侦测装置，其特征在于，所述装置包括：第一液位传感器、第一液体通道、第二液体通道以及弹性薄片；/n所述第一液体通道嵌入至一固定盘中，并且所述第一液体通道的第一端口延伸至所述固定盘的下表面，所述固定盘的下表面用于固定修整盘；所述弹性薄片设置于所述第一液体通道的所述第一端口，并封闭所述第一端口；/n所述第二液体通道与所述第一液体通道的第二端口连接，并且所述第二液体通道具有沿着高度方向竖直设置的竖直子通道，所述第一液位传感器设置于所述第二液体通道的竖直子通道的内壁；/n当所述固定盘固定有所述修整盘时，所述修整盘紧贴所述弹性薄片，以使所述第二液体通道中的液体液面高于所述第一液位传感器；/n当所述修整盘从所述固定盘脱落时，所述弹性薄片向下发生形变，所述第二液体通道中液体液面下降至低于所述第一液位传感器处。/n
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