[实用新型]修整盘掉落侦测装置及研磨垫修整装置

权利要求书

1.一种修整盘掉落侦测装置，其特征在于，所述装置包括：第一液位传感器、第一液体通道、第二液体通道以及弹性薄片；

所述第一液体通道嵌入至一固定盘中，并且所述第一液体通道的第一端口延伸至所述固定盘的下表面，所述固定盘的下表面用于固定修整盘；所述弹性薄片设置于所述第一液体通道的所述第一端口，并封闭所述第一端口；

所述第二液体通道与所述第一液体通道的第二端口连接，并且所述第二液体通道具有沿着高度方向竖直设置的竖直子通道，所述第一液位传感器设置于所述第二液体通道的竖直子通道的内壁；

当所述固定盘固定有所述修整盘时，所述修整盘紧贴所述弹性薄片，以使所述第二液体通道中的液体液面高于所述第一液位传感器；

当所述修整盘从所述固定盘脱落时，所述弹性薄片向下发生形变，所述第二液体通道中液体液面下降至低于所述第一液位传感器处。

2.如权利要求1所述的修整盘掉落侦测装置，其特征在于，当所述第二液体通道中的液体液面低于所述第一液位传感器时，所述第一液位传感器警报触发，以提示所述修整盘脱落。

3.如权利要求1所述的修整盘掉落侦测装置，其特征在于，所述装置还包括液体补给机构，所述液体补给机构与所述第二液体通道远离所述弹性薄片的一端连通，用于向所述第二液体通道中输送液体。

4.如权利要求3所述的修整盘掉落侦测装置，其特征在于，所述装置还包括第二液位传感器，所述第二液位传感器设置于所述竖直子通道的内壁上，且高于所述第一液位传感器；

其中，当所述第二液体通道中液体液面低于所述第二液位传感器，并高于第一液体传感器时，利用所述液体补给机构向所述第二液体通道中补充液体，以使所述第二液体通道中液体液面高于所述第二液位传感器。

5.如权利要求1所述的修整盘掉落侦测装置，其特征在于，所述竖直子通道的开口尺寸小于所述第一液体通道的开口尺寸。

6.如权利要求1所述的修整盘掉落侦测装置，其特征在于，所述装置还包括一通气管道，所述通气管道与所述第二液体通道连通，并且所述通气管道高于所述第二液体通道中的液面，以用于确保所述第二液体通道的内部压力与外界压力相等。

7.如权利要求1所述的修整盘掉落侦测装置，其特征在于，所述弹性薄片包括至少两个子弹性薄片，所述至少两个子弹性薄片层叠设置。

8.如权利要求1所述的修整盘掉落侦测装置，其特征在于，所述第一液体通道的第二端口延伸至所述固定盘的上表面或者侧面。

9.如权利要求1所述的修整盘掉落侦测装置，其特征在于，所述固定盘通过螺丝紧固或者磁力吸附的方式固定所述修整盘。

10.一种研磨垫修整装置，其特征在于，包括如权利要求1至8任一所述的修整盘掉落侦测装置。

11.如权利要求10所述的研磨垫修整装置，其特征在于，还包括：固定盘、修整盘、移动轴以及驱动器；

所述驱动器与所述移动轴的一端连接，用于驱动所述移动轴绕所述驱动器转动，所述移动轴的另一端与所述固定盘连接，所述固定盘用于固定所述修整盘，所述修整盘被固定于所述固定盘的下表面。