[实用新型]单晶炉加热系统热回收设备

摘要

本实用新型公开一种单晶炉加热系统热回收设备，包括机架，机架上表面设置有安装板，安装板的上表面设置有气体过滤箱，气体过滤箱的前侧面设置有第一出气管，第一出气管与导管连接，第一出气管的外侧面设置有第三自动排气阀，导管通过弯管接头与进气接管相连，进气接管通过第一卡箍与设置在炉体的外侧面下端的进气口连接，气体过滤箱的左侧面通过第一进气管与设置在炉体外侧面的出气口连接，本实用新型通过对单晶炉制备晶体的工作过程中热量的收集，在单晶炉制备晶体结束后，单晶炉的冷却过程中，将收集的热量重新输送进该装置，减少能量的损失，又实现能量的再利用，提高能量的利用效率，节约能源，减少运营成本。