[实用新型]一种显影装置有效
| 申请号： | 201920508650.5 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN209962094U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 常远 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 31260 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例涉及半导体器件制造技术领域，公开了一种显影装置，包括：承载晶圆的可旋转承载台、设置于可旋转承载台下方的加热丝、与可旋转承载台下方连接的抽气管、设置于可旋转承载台上方的温度检测器、及连接加热丝与温度检测器的控制器；可旋转承载台带动晶圆旋转，以使显影处理所用的显影液涂覆整个晶圆并进行反应；抽气管用于抽取在显影处理过程中生成的气体；温度检测器用于检测在显影处理过程中晶圆的表面温度值；控制器用于提供基准温度值，并依据检测的晶圆的表面温度值与基准温度值的差值控制加热丝对晶圆进行温度补偿。本实用新型实施方式提供的显影装置，能够改善光刻胶层的线宽的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 可旋转 晶圆 温度检测器 显影处理 加热丝 承载 本实用新型 显影装置 控制器 承载台 半导体器件制造 差值控制 光刻胶层 温度补偿 整个晶圆 抽气管 均匀性 显影液 检测 抽气 涂覆 线宽 抽取 | ||
【主权项】：
1.一种显影装置，其特征在于，包括：承载晶圆的可旋转承载台、设置于所述可旋转承载台下方的加热丝、与所述可旋转承载台下方连接的抽气管、设置于所述可旋转承载台上方的温度检测器、及连接所述加热丝与所述温度检测器的控制器；/n所述可旋转承载台带动所述晶圆旋转，以使显影处理所用的显影液涂覆整个晶圆并进行反应；/n所述抽气管用于抽取在显影处理过程中生成的气体；/n所述温度检测器用于检测在显影处理过程中所述晶圆的表面温度值；/n所述控制器用于提供基准温度值，并依据检测的所述晶圆的表面温度值与所述基准温度值的差值，控制所述加热丝对所述晶圆进行温度补偿。/n
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