[实用新型]一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口

摘要

本实用新型涉及材料工程技术领域，且公开了一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，包括闸板阀，所述闸板阀顶部的一侧设有真空密封口，所述真空密封口的顶部设有固定螺丝，所述真空密封口内腔的顶部设有激光入射玻璃窗口。该一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，通过采用可拆卸的激光玻璃密封窗口装置，能够在不破坏真空腔体内部的气体氛围的条件下，将激光玻璃密封窗口拆卸下来，实现对玻璃窗口的高效清洁，解决了在脉冲激光沉积技术中存在的激光入射玻璃难以清洗的问题，确保了高质量的入射激光能透过玻璃窗口进入腔体。