[实用新型]花篮定位组件及制绒装置有效
| 申请号： | 201920451872.8 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN209544298U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陈龙;高夺利;李成伟 | 申请（专利权）人： | 洛阳阿特斯光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及硅片加工技术设备领域，尤其涉及一种花篮定位组件。所述花篮定位组件用于硅片制绒，包括花篮，具有第一连接件；定位装置，具有第二连接件；所述第一连接件与所述第二连接件相互作用以防止所述花篮相对所述定位装置沿上下方向移动。花篮装配于定位装置时，通过第一连接件和第二连接件的配合，使得花篮与定位装置相固定，以防止两者在上下方向移动，结构简单，安装方便且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 花篮 定位装置 第二连接件 第一连接件 定位组件 上下方向移动 本实用新型 安装方便 硅片加工 硅片制绒 技术设备 制绒装置 装配 配合 | ||
【主权项】：
1.一种花篮定位组件，用于硅片制绒，其特征在于：所述花篮定位组件包括：花篮，具有第一连接件；定位装置，具有第二连接件；所述第一连接件与所述第二连接件相互作用以防止所述花篮相对所述定位装置沿上下方向移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
