[实用新型]透射光斑红外热成像检测装置有效
| 申请号： | 201920446840.9 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN209911269U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 唐庆菊;高帅帅;王云泽 | 申请（专利权）人： | 黑龙江科技大学 |
| 主分类号： | G01N25/72 | 分类号： | G01N25/72 |
| 代理公司： | 23206 哈尔滨龙科专利代理有限公司 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150027 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙;23 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种透射光斑红外热成像检测装置，所述装置包括控制器、热波信号采集系统、线性调频脉冲分束激光激励系统、试件保护装置四部分，其中：所述控制器为嵌入有LabVIEW平台的计算机；所述热波信号采集系统包括数据采集卡、红外热像仪和微焦镜头；所述线性调频脉冲分束激光激励系统包括激光驱动器、激光发射器、反光镜、光束扩展器、光束分离器；所述试件保护装置包括温度传感器、密封箱、蜂鸣器、单片机。本实用新型采用分束激光原理可以使半导体硅片微裂纹缺陷检测全面，可以有效防止激光功率过高导致半导体硅片烧蚀，同时也可以防止激光功率过低导致微裂纹缺陷不能识别。 | ||
| 搜索关键词： | 分束激光 保护装置 线性调频脉冲 半导体硅片 本实用新型 采集系统 激光功率 激励系统 热波信号 控制器 微裂纹 试件 反光镜 光束分离器 光束扩展器 红外热成像 红外热像仪 激光发射器 激光驱动器 数据采集卡 温度传感器 检测装置 缺陷检测 透射光斑 单片机 蜂鸣器 密封箱 烧蚀 嵌入 镜头 计算机 | ||
【主权项】：
1.一种透射光斑红外热成像检测装置，其特征在于所述装置包括控制器、热波信号采集系统、线性调频脉冲分束激光激励系统、试件保护装置四部分，其中：/n所述控制器为嵌入有LabVIEW平台的计算机；/n所述热波信号采集系统包括数据采集卡、红外热像仪和微焦镜头；/n所述线性调频脉冲分束激光激励系统包括激光驱动器、激光发射器、反光镜、光束扩展器、光束分离器；/n所述试件保护装置包括温度传感器、密封箱、蜂鸣器、单片机；/n所述微焦镜头安装在红外热像仪的光学镜头上；/n所述密封箱的左侧面加工有圆形激光入射孔，前侧面开有箱体门；/n所述红外热像仪、光束扩展器、光束分离器置于密封箱内；/n所述温度传感器安装在箱体门内侧，蜂鸣器、单片机安装在箱体门外侧；/n所述反光镜由第一反光镜和第二反光镜构成；/n所述嵌入有LabVIEW平台的计算机的数据输出端与数据采集卡的数据输入端相连；/n所述数据采集卡的数据输出端与激光驱动器的数据输入端连接；/n所述激光驱动器的数据输出端与激光发射器的数据输入端连接；/n所述激光发射器发射的激光经第一反光镜和第二反光镜改变激光路径后通过密封箱的圆形激光入射孔进入密封箱，经光束扩展器扩束和光束分离器分束输出；/n所述嵌入有LabVIEW平台的计算机与红外热像仪相连；/n所述温度传感器通过单片机处理后分两路，一路与蜂鸣器相连，另一路与嵌入有LabVIEW平台的计算机相连。/n
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