[实用新型]一种半导体制程中气体回路用高压隔膜阀

摘要

本实用新型公开了一种半导体制程中气体回路用高压隔膜阀，属于阀门技术领域，包括阀门主体，阀门主体两侧的中间位置处设置有出气口，且阀门主体的底部设置有进气口，阀门主体底端内壁的两侧设置有挡板，且阀门主体两侧的底端转动连接有贯穿至阀门主体内部的螺杆，阀门主体的顶部设置有贯穿至阀门主体内部的套管。本实用新型通过设置的复位弹簧推动连接柱向下运动，连接柱带动堵头向下运动，堵头与挡板相互作用，完成一级密封，设置的螺杆推动隔膜拉伸，两组隔膜相互作用使得密封效果更好，通过高压气体高压提压缩复位弹簧，使得堵头离开挡板完成代开的目的，设置的连接杆旋转带动堵头储蓄向下，完成阀门的紧急关闭，从而简化阀门开启的步骤。