[实用新型]一种固定装置及采用该固定装置的刻蚀设备

摘要

本实用新型提供一种固定装置及采用该固定装置的刻蚀设备，该固定装置包括本体、凹槽及至少两个弹性部件，其中，本体包括相对设置的第一表面与第二表面；凹槽自本体的第一表面开口，并往第二表面方向延伸；弹性部件设置于凹槽的底面。本实用新型的刻蚀设备采用上述固定装置来固定刻蚀终点侦测窗口前的透光平板，其中，固定装置的本体通过紧固件或其它方式固定于刻蚀设备的腔体外壳外表面，凹槽用以容置透光平板，弹性部件用于抵住透光平板的外表面，将透光平板固定于腔体外壳外表面。本实用新型的刻蚀设备可有效减少透光平板的破裂概率，从而降低腔体泄露率及测机时的颗粒异常，不仅可以减少备件花费成本，还可以提高设备维护成功率和复机的实效。

主权项

1.一种固定装置，其特征在于，包括：本体，包括相对设置的第一表面与第二表面，凹槽，设置于所述本体中，所述凹槽自所述第一表面开口，并往所述第二表面方向延伸；至少两个弹性部件，设置于所述凹槽的底面，用于抵住进入所述凹槽中的待固定物品，将所述待固定物品固定于与所述本体相对设置的支撑装置外表面。