[实用新型]用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置有效
| 申请号： | 201920389051.6 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN209974961U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;春伟博;谭庆;冯贤剑 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 33212 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，涉及用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置。包括驱动机构；驱动机构包括驱动电机与控制元件；辅助锁紧装置包括舵机、棘爪与棘轮；舵机设于机架上，通过第一传动轴与棘爪相连，棘爪尖端顶部与弹簧一端相连，弹簧另一端与机架相连；棘轮设于棘爪旁侧，中心连接第二传动轴，传动轴两端各通过联轴器与驱动电机和滚珠丝杆螺旋升降机相连。控制元件分别与驱动电机与舵机相连。本实用新型能够在除了抱闸电机对安装在滚珠丝杆上的坩埚提升架提供防止下滑的功能外，提供额外的辅助锁紧功能，能够确保坩埚提升架在实际的生产过程中，在提升和下降的过程中，杜绝出现可能的下落风险，确保生产过程的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动电机 传动轴 提升架 舵机 棘爪 坩埚 辅助锁紧装置 本实用新型 滚珠丝杆 控制元件 驱动机构 生产过程 弹簧 棘轮 单晶硅生长炉 单晶硅 螺旋升降机 抱闸电机 棘爪尖端 制备设备 中心连接 防下滑 辅助锁 联轴器 | ||
【主权项】：
1.一种用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置，其特征在于：包括驱动机构、辅助锁紧装置与滚珠丝杆螺旋升降机；/n所述驱动机构包括驱动电机与控制元件；/n所述辅助锁紧装置包括舵机、棘爪与棘轮；所述舵机设于机架上，通过第一传动轴与棘爪相连，棘爪尖端顶部与弹簧一端相连，弹簧另一端与机架相连；棘轮设于棘爪旁侧，中心连接第二传动轴，传动轴两端各通过联轴器与驱动电机和滚珠丝杆螺旋升降机相连；/n所述控制元件分别与驱动电机与舵机相连。/n
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