[实用新型]一种半导体元器件封装成型后流道废料清除模具有效
申请号: | 201920373646.2 | 申请日: | 2019-03-22 |
公开(公告)号: | CN209471930U | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
发明(设计)人: | 宋岩 | 申请(专利权)人: | 大连泰一半导体设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116600 辽宁省大连市经*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种半导体元器件封装成型后流道废料清除模具,包括下模固定板、动模固定板和上模固定板,下模固定板上安装定位导柱,定位导柱上端连接上模固定板,下模固定板上安装半导体基板固定板,下模固定板上安装吹气装置;动模固定板通过定位导套安装于定位导柱上,动模固定板下侧安装冲头固定板,冲头固定板下侧安装冲头,冲头固定板下侧通过脱料板回位弹簧连接脱料板;上模固定板上部安装驱动气缸,驱动气缸的活塞杆贯穿上模固定板连接下部的动模固定板。本实用新型可安装在半导体元器件封装成型后流道废料清除设备上进行工作,来完指定型号半导体元器件封装后的半导体基板中流道废料去除工作,达到了模具的运作高效、安全、稳定的目的。 | ||
搜索关键词: | 半导体元器件 动模固定板 上模固定板 下模固定板 冲头固定板 废料清除 封装成型 后流道 模具 半导体基板 定位导柱 驱动气缸 脱料板 本实用新型 安装定位 吹气装置 定位导套 废料去除 回位弹簧 固定板 活塞杆 可安装 中流道 上端 冲头 导柱 封装 贯穿 运作 安全 | ||
【主权项】:
1.一种半导体元器件封装成型后流道废料清除模具,其特征在于:包括下模固定板(1)、动模固定板(5)和上模固定板(13),下模固定板(1)上部四角处安装定位导柱(4),定位导柱(4)上端连接上模固定板(13),下模固定板(1)上安装半导体基板固定板(2),半导体基板固定板(2)上安装半导体基板(17),下模固定板(1)上位于半导体基板固定板(2)两侧安装吹气装置(16);动模固定板(5)两端后侧安装定位导套(12),动模固定板(5)通过定位导套(12)安装于定位导柱(4)上,动模固定板(5)下侧安装冲头固定板(6),冲头固定板(6)下侧安装冲头(8),冲头固定板(6)下侧通过脱料板回位弹簧(10)连接脱料板(7);上模固定板(13)上部安装驱动气缸(15),驱动气缸(15)的活塞杆贯穿上模固定板(13)连接下部的动模固定板(5)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造