[实用新型]一种真空镀膜机的废气处理装置有效
| 申请号： | 201920359911.1 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN210140626U | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 蒋建华;向毅 | 申请（专利权）人： | 昆山金百辰金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) 32329 | 代理人： | 仲昌民 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的废气处理装置，其技术方案要点是：包括设置在真空镀膜机内部顶端的吸收盘，所述吸收盘端部连接有第一吸气管，所述真空镀膜机的顶部通过若干个第一锁紧螺栓固定有安装板，所述安装板上固定有鼓风机，所述鼓风机的出风口处还螺纹连接有第二吸气管，所述第二吸气管在远离所述鼓风机的一端与第三吸气管连通，所述安装板上还安装固定有废气吸收箱，所述第三吸气管在远离所述第二吸气管的一端螺纹连接在所述废气吸收箱内，所述废气吸收箱内设置有活性炭，利用装置能够将废气靶材吸附固定，使得靶材不会对环境造成污染且不会使其积累在真空镀膜机内，较为环保；且装置中的各部件可以方便拆卸，方便清洗更换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 废气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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