[实用新型]一种真空镀膜机的废气处理装置

权利要求书

1.一种真空镀膜机的废气处理装置，包括设置在真空镀膜机(1)内部顶端的吸收盘(2)，其特征在于：所述吸收盘(2)端部连接有L形的第一吸气管(3)，所述第一吸气管(3)插接固定在所述真空镀膜机(1)顶部，所述真空镀膜机(1)的顶部通过若干个第一锁紧螺栓(4)固定有安装板(5)，所述安装板(5)上固定有鼓风机(6)，所述第一吸气管(3)与所述鼓风机(6)的进风口连通，所述鼓风机(6)的出风口处还螺纹连接有第二吸气管(7)，所述第二吸气管(7)在远离所述鼓风机(6)的一端与第三吸气管(8)连通，所述安装板(5)上还安装固定有废气吸收箱(9)，所述第三吸气管(8)在远离所述第二吸气管(7)的一端螺纹连接在所述废气吸收箱(9)内，所述废气吸收箱(9)内设置有用于吸收真空镀膜用靶料的活性炭(10)，所述废气吸收箱(9)的开口处还插接有箱盖(11)，所述箱盖(11)上开设有若干个气压平衡孔(12)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的废气处理装置，其特征在于：所述安装板(5)上固定有两个固定板(13)，所述废气吸收箱(9)的两侧分别焊接固定有插条(14)，两个所述固定板(13)上分别开设有供所述插条(14)插入的插槽(15)。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的废气处理装置，其特征在于：所述吸收盘(2)的端部固定有第一轴环(16)，所述第一吸气管(3)在靠近所述吸收盘(2)的一端固定有第二轴环(17)，所述第一轴环(16)和所述第二轴环(17)的外部共同螺纹连接有螺纹环套(18)。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的废气处理装置，其特征在于：所述第一吸气管(3)上还焊接固定有固定盘(19)，所述固定盘(19)和所述真空镀膜机(1)之间通过若干个第二锁紧螺栓(20)连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的废气处理装置，其特征在于：所述第二吸气管(7)在靠近所述第三吸气管(8)的端部固定有第一法兰盘(21)，所述第三吸气管(8)在靠近所述第二吸气管(7)的端部固定有第二法兰盘(22)，所述第一法兰盘(21)和所述第二法兰盘(22)之间通过若干个第三锁紧螺栓(23)连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的废气处理装置，其特征在于：所述安装板(5)上还焊接固定有限制所述废气吸收箱(9)插接位置的限位挡板(24)。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的废气处理装置，其特征在于：所述箱盖(11)的四个侧壁上固定有回字形的橡胶垫(25)。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的废气处理装置，其特征在于：所述吸收盘(2)包括锥形部(201)和直管部(202)。