[实用新型]一种真空镀膜机的废气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机的废气处理装置，其技术方案要点是：包括设置在真空镀膜机内部顶端的吸收盘，所述吸收盘端部连接有第一吸气管，所述真空镀膜机的顶部通过若干个第一锁紧螺栓固定有安装板，所述安装板上固定有鼓风机，所述鼓风机的出风口处还螺纹连接有第二吸气管，所述第二吸气管在远离所述鼓风机的一端与第三吸气管连通，所述安装板上还安装固定有废气吸收箱，所述第三吸气管在远离所述第二吸气管的一端螺纹连接在所述废气吸收箱内，所述废气吸收箱内设置有活性炭，利用装置能够将废气靶材吸附固定，使得靶材不会对环境造成污染且不会使其积累在真空镀膜机内，较为环保；且装置中的各部件可以方便拆卸，方便清洗更换。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，特别涉及一种真空镀膜机的废气处理装置。

背景技术

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

在真空镀膜结束后，真空镀膜机内依旧存在气态靶材颗粒，这些气态靶材颗粒若不进行回收一方面会影响环境，另一方面会使得靶材分子积累在真空镀膜机中的真空镀膜室顶部和侧壁，久而久之可能会对真空镀膜机内环境造成影响，可能会影响到下次的真空镀膜工艺，综上，需要对真空镀膜机产生的靶材废气进行处理。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机的废气处理装置，以解决背景技术中提到的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种真空镀膜机的废气处理装置，包括设置在真空镀膜机内部顶端的吸收盘，所述吸收盘端部连接有L形的第一吸气管，所述第一吸气管插接固定在所述真空镀膜机顶部，所述真空镀膜机的顶部通过若干个第一锁紧螺栓固定有安装板，所述安装板上固定有鼓风机，所述第一吸气管与所述鼓风机的进风口连通，所述鼓风机的出风口处还螺纹连接有第二吸气管，所述第二吸气管在远离所述鼓风机的一端与第三吸气管连通，所述安装板上还安装固定有废气吸收箱，所述第三吸气管在远离所述第二吸气管的一端螺纹连接在所述废气吸收箱内，所述废气吸收箱内设置有用于吸收真空镀膜用靶料的活性炭，所述废气吸收箱的开口处还插接有箱盖，所述箱盖上开设有若干个气压平衡孔。

通过采用上述技术方案，当真空镀膜结束直至解除真空镀膜室内的真空氛围后，操作者可以启动安装板上固定的鼓风机，鼓风机通过第一吸气管和吸收盘将会把镀膜腔室内的积累的气态靶材废气吸入，之后从第二吸气管和第三吸气管将废气抽入到废气吸收箱内，利用废气吸收箱内的活性炭将废气靶材吸附固定，使得靶材不会对环境造成污染且不会使其积累在真空镀膜机内，较为环保；且装置中的各部件可以方便拆卸，方便清洗更换。

较佳的，所述安装板上固定有两个固定板，所述废气吸收箱的两侧分别焊接固定有插条，两个所述固定板上分别开设有供所述插条插入的插槽。

通过采用上述技术方案，利用插条和插槽的配合能够方便实现废气吸收箱在安装板上方的插接固定。

较佳的，所述吸收盘的端部固定有第一轴环，所述第一吸气管在靠近所述吸收盘的一端固定有第二轴环，所述第一轴环和所述第二轴环的外部共同螺纹连接有螺纹环套。

通过采用上述技术方案，利用第一轴环、第二轴环和螺纹环套能够方便将吸收盘和第一吸气管之间进行连接。

较佳的，所述第一吸气管上还焊接固定有固定盘，所述固定盘和所述真空镀膜机之间通过若干个第二锁紧螺栓连接。