[实用新型]一种非等径磁过滤系统

摘要

本实用新型涉及一种非等径磁过滤系统，包括非等径磁过滤弯管、高脉冲磁场、压缩磁场和脉冲偏压电极，非等径磁过滤弯管分别设有上法兰盘和下法兰盘，下法兰盘的上方设置有上屏蔽罩，下法兰盘的下方设置有下屏蔽罩，压缩磁场临近位于下法兰盘，高脉冲磁场位于上法兰盘上，脉冲偏压电极位于非等径磁过滤弯管中部；利用金属等离子体作为电离源，同时添加一个等离子体的传输通道，增加电子或离子与气体的作用时间，含碳气体的电离效率有南的提升，大幅提高等离子体密度，同时解决膜层的均匀性问题。