[实用新型]一种非等径磁过滤系统

权利要求书

1.一种非等径磁过滤系统，其特征在于：包括非等径磁过滤弯管、高脉冲磁场、压缩磁场和脉冲偏压电极，所述非等径磁过滤弯管分别设有上法兰盘和下法兰盘，所述下法兰盘的上方设置有上屏蔽罩，所述下法兰盘的下方设置有下屏蔽罩，所述压缩磁场临近位于所述下法兰盘，所述高脉冲磁场位于上法兰盘上，所述脉冲偏压电极位于非等径磁过滤弯管中部；

所述高脉冲磁场用于控制弧源靶材弧斑运动，使靶材均匀消耗，同时在弯管传输方向提供电场；

所述脉冲偏压电极压缩等离子体，提高等离子体的传输效率；

所述压缩磁场用于压缩等离子体，通入的气体能够在压缩段进行充分电离，提高等离子体密度和气体的电离度。

2.如权利要求1所述的非等径磁过滤系统，其特征在于：所述高脉冲磁场电流10-200A，频率为10-100Hz。

3.如权利要求1所述的非等径磁过滤系统，其特征在于：所述高脉冲磁场与所述压缩磁场方向相反，用于对等离子体进行散焦，散焦后的等离子体的出射宽度为300-400mm。

4.如权利要求1所述的非等径磁过滤系统，其特征在于：所述压缩磁场的强度为100-1000A。

5.如权利要求1所述的非等径磁过滤系统，其特征在于：所述脉冲偏压电极的电压为1-100V，频率为20-100Hz。

6.如权利要求1所述的非等径磁过滤系统，其特征在于：所述上屏蔽罩与所述下法兰盘面的交角为50-90度，长度为5-10mm。

7.如权利要求1所述的非等径磁过滤系统，其特征在于：所述下屏蔽罩与所述下法兰盘面的交角为60-90度，长度为8-12mm。