[实用新型]一种腔体清洁装置有效
| 申请号： | 201920242327.8 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN210497481U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 莫晓世 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/04 | 分类号： | B08B5/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种腔体清洁装置，用于清洁连接有真空分子泵的腔体，真空分子泵通过一真空阀门与腔体连接，包括：一清洁夹具，设置于腔体的真空阀门内，用于覆盖真空阀门与连接真空分子泵的管道口；一连接件，固定于真空阀门的外接端口；一吸尘器，与连接件连接。本实用新型技术方案的有益效果在于：通过在真空阀门内设置清洁夹具，以防在对腔体进行清洁作业时颗粒掉入真空分子泵内而导致真空分子泵故障，进一步延长真空分子泵的使用寿命；并且，该装置可以有效地提高清洁的效果，以防因颗粒残留在腔体内而导致晶圆缺陷，进一步提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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