[实用新型]一种腔体清洁装置有效
| 申请号： | 201920242327.8 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN210497481U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 莫晓世 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/04 | 分类号： | B08B5/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 装置 | ||
1.一种腔体清洁装置，用于清洁连接有真空分子泵的腔体，所述真空分子泵通过一真空阀门与所述腔体连接，其特征在于，包括：
一清洁夹具，设置于所述腔体的真空阀门内，用于覆盖所述真空阀门与连接所述真空分子泵的管道口；
一连接件，固定于所述真空阀门的外接端口；
一吸尘器，与所述连接件连接。
2.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述清洁夹具为圆盘形夹具。
3.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述清洁夹具包括一铁质内芯，所述铁质内芯外包裹橡胶层。
4.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述连接件包括一固定板，所述固定板通过复数个螺钉固定于所述真空阀门的外接端口。
5.根据权利要求4所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述连接件还包括一吸尘腔，所述吸尘腔包括广口端与窄口端；
所述吸尘腔的广口端与所述固定板连接；
所述吸尘腔的窄口端与所述吸尘器连接。
6.根据权利要求4所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述吸尘器的广口端的尺寸与所述真空阀门的外接端口的尺寸适配。
7.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述清洁夹具的尺寸与所述真空阀门的尺寸适配。
8.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述清洁夹具的直径为25cm。
9.根据权利要求5所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述吸尘腔的广口端的宽度为27cm，高度为15cm；
所述吸尘腔的窄口端的直径为8.5cm。
10.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述连接件的材质为PVC塑胶。
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