[实用新型]一种太阳能硅片碱洗浸泡装置有效
申请号: | 201920231217.1 | 申请日: | 2019-02-25 |
公开(公告)号: | CN209461423U | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 徐卫平;程华 | 申请(专利权)人: | 浙江泰明新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 陈娟 |
地址: | 324300 浙江省衢*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能硅片碱洗浸泡装置,包括浸泡槽,所述浸泡槽的一侧设有支撑底座,支撑底座的顶端转动安装有第一转动杆,第一转动杆靠近浸泡槽的一侧焊接有支撑架,支撑架的顶端与底端分别固定安装有第一安装板与第二安装板,第二安装板的底端固定安装有伺服旋转电机,第二安装板的顶端转动安装有螺纹杆,螺纹杆与伺服旋转电机的输出轴固定连接,螺纹杆的外侧套设有螺纹管,螺纹管的顶端固定安装有两根导向杆,第一安装板上开设有两个导向孔,导向杆通过导向孔贯穿第一安装板,且两根导向杆的顶端之间固定安装有加强板。本实用新型结构巧妙,使用方便,放置盘可升降和转动,硅片的放置和拿取更加方便。 | ||
搜索关键词: | 安装板 导向杆 浸泡槽 螺纹杆 伺服旋转电机 本实用新型 太阳能硅片 浸泡装置 支撑底座 转动安装 导向孔 螺纹管 支撑架 转动杆 底端 碱洗 放置盘 加强板 可升降 输出轴 硅片 拿取 焊接 转动 贯穿 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能硅片碱洗浸泡装置,包括浸泡槽(1),其特征在于,所述浸泡槽(1)的一侧设有支撑底座(3),支撑底座(3)的顶端转动安装有第一转动杆(4),第一转动杆(4)靠近浸泡槽(1)的一侧焊接有支撑架(5),支撑架(5)的顶端与底端分别固定安装有第一安装板(6)与第二安装板(7),第二安装板(7)的底端固定安装有伺服旋转电机(9),第二安装板(7)的顶端转动安装有螺纹杆(10),螺纹杆(10)与伺服旋转电机(9)的输出轴固定连接,螺纹杆(10)的外侧套设有螺纹管(11),螺纹管(11)的顶端固定安装有两根导向杆(12),第一安装板(6)上开设有两个导向孔,导向杆(12)通过导向孔贯穿第一安装板(6),且两根导向杆(12)的顶端之间固定安装有加强板(13),螺纹管(11)远离靠近浸泡槽(1)的一侧固定安装有L形连接杆(14),L形连接杆(14)的底端固定安装有放置盘(16),放置盘(16)位于浸泡槽(1)的内部,第一转动杆(4)的外侧固定安装有从动齿轮(8)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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