[实用新型]涂布装置有效
| 申请号： | 201920198740.9 | 申请日： | 2019-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN209631466U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 徐猛;古哲安;黄志凯;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05D3/02;B05B12/08 |
| 代理公司： | 31291 上海立群专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 杨楷;毛立群<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 223300江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体设备领域，提供了一种涂布装置，能够提高涂布材料的利用效率，同时提高涂布的均匀性。具体地，该涂布装置包括壳体；加热板，相对于壳体保持固定，配置以对其上放置的晶圆进行加热；支臂，具有一个或多个沿支臂长度方向设置的喷嘴，该支臂能够沿平行于加热板的平面扫描运动，其扫描运动经过的区域在加热板平面的投影完全覆盖晶圆。本实用新型提供的涂布装置通过支臂上设置的喷嘴，在晶圆上方扫描喷涂，使得涂布更加均匀，同时减少了材料的用量。 | ||
| 搜索关键词： | 支臂 涂布装置 晶圆 本实用新型 喷嘴 加热板 加热 长度方向设置 平面扫描运动 半导体设备 壳体保持 扫描喷涂 扫描运动 涂布材料 均匀性 壳体 投影 平行 配置 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，其特征在于，包括/n壳体；/n加热板，相对于所述壳体保持固定，配置以对其上放置的晶圆进行加热；/n支臂，设置于所述加热板一侧，具有一个或多个沿所述支臂长度方向设置的喷嘴，该支臂能够沿平行于所述加热板的平面扫描运动。/n
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