[实用新型]一种波长可调的AlGaAs光电阴极

摘要

本实用新型是一种波长可调的AlGaAs光电阴极，包括由下至上依次同心设置的玻璃窗口、Si₃N₄增透层、缓冲层和若干片发射层，所述的若干片发射层由下至上直径依次减小，每层发射层的上表面覆盖有激活层，每层激活层表面均覆盖有可拆卸的遮光帽；其中缓冲层采用Al_xGa_1‑xAs均匀掺杂缓冲层；若干片发射层采用不同Al组分的Al_x’Ga_1‑x’As发射层，若干片发射层中Al组分x’值由下至上依次减小，x’值介于1~0之间，若干片发射层均采用均匀掺杂方式，各片发射层中的掺杂浓度由下至上依次减小；激活层采用Cs/O激活层；该种光电阴极配合合适数量和位置的遮光帽，根据使用场景的不同能够实现波长可调的效果。

主权项

1.一种波长可调的AlGaAs光电阴极，其特征是：包括由下至上依次同心设置的玻璃窗口（1）、Si₃N₄增透层（2）、缓冲层（3）和若干片发射层（4），所述的若干片发射层（4）由下至上直径依次减小，每层发射层（4）的上表面露出区域均覆盖有激活层（5），所述的激活层（5）的端面的形状和尺寸与其对应的发射层（4）的上表面露出区域的形状尺寸相同，每层激活层（5）表面均覆盖有可拆卸的遮光帽（6）；所述的缓冲层（3）采用Al_xGa_1‑xAs均匀掺杂缓冲层；所述的若干片发射层（4）采用不同Al组分的Al_x’Ga_1‑x’As发射层，若干片发射层（4）中Al组分x’值由下至上依次减小，x’值介于1~0之间，若干片发射层（4）均采用均匀掺杂方式，各片发射层（4）中的掺杂浓度由下至上依次减小；所述的激活层（5）采用Cs/O激活层；所述的遮光帽（6）采用不透光材料制成。