[实用新型]一种新型磁控阴极多段式供气装置

摘要

本申请公开了一种新型磁控阴极多段式供气装置，包括供气管道、入气管道、抽气装置、排气管道和固定套，所述供气管道包括若干截供气连接段；在所述供气管道上设有所述入气管道，在所述供气管道的头端安装固定有所述抽气装置，所述抽气装置的出气口与所述排气管道连接，且在所述入气管道的内部安装有滤网，在所述入气管道的内壁上设有滑槽，在所述滑槽的尾端设有固定齿，在所述滤网的外边缘上设有与所述固定齿相匹配的固定槽。本申请便于对气体进行存储及均匀的抽送气体至气室内；供气管道上供气连接段之间可进行拆卸，便于对管道内部进行清理；滤网可以保证进入气室内气体的干净，并且滤网可进行便捷的取出更换。

主权项

1.一种新型磁控阴极多段式供气装置，其特征是：包括供气管道(1)、入气管道(2)、抽气装置(3)、排气管道(4)和固定套(5)，所述供气管道(1)包括若干截供气连接段(1.1)，在相邻所述供气连接段(1.1)的首、尾两端设有相匹配的固定螺纹(1.2)，且在供气连接段(1.1)之间安装固定有所述固定套(5)；在所述供气管道(1)上设有所述入气管道(2)，在所述供气管道(1)的头端安装固定有所述抽气装置(3)，所述抽气装置(3)的出气口与所述排气管道(4)连接，在所述入气管道(2)和排气管道(4)上均安装有电磁阀门(6)，且在所述入气管道(2)的内部安装有滤网(7)，在所述入气管道(2)的内壁上设有滑槽(2.1)，在所述滑槽(2.1)的尾端设有固定齿(2.2)，在所述滤网(7)的外边缘上设有与所述固定齿(2.2)相匹配的固定槽(7.1)。