[实用新型]一种新型磁控阴极多段式供气装置

说明书

本申请公开了一种新型磁控阴极多段式供气装置，包括供气管道、入气管道、抽气装置、排气管道和固定套，所述供气管道包括若干截供气连接段；在所述供气管道上设有所述入气管道，在所述供气管道的头端安装固定有所述抽气装置，所述抽气装置的出气口与所述排气管道连接，且在所述入气管道的内部安装有滤网，在所述入气管道的内壁上设有滑槽，在所述滑槽的尾端设有固定齿，在所述滤网的外边缘上设有与所述固定齿相匹配的固定槽。本申请便于对气体进行存储及均匀的抽送气体至气室内；供气管道上供气连接段之间可进行拆卸，便于对管道内部进行清理；滤网可以保证进入气室内气体的干净，并且滤网可进行便捷的取出更换。

技术领域

本公开一般涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种新型磁控阴极多段式供气装置。

背景技术

真空镀膜，是指在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀件的表面上，真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽效果和镜面效果，膜层具有出色的阻隔性能，提供优异的电磁屏蔽和导电效果。被镀件表面膜层颜色是否均匀、结合力是否牢固是判断镀膜质量是否优良的重要指标之一，若被镀件表面膜层颜色不均匀或是膜层出现脱落，则被镀件将作为不合格品而被丢弃。真空镀膜工艺中，供气系统连接靶材提供氧气、氩气的混合气体，通过永磁铁轰击和阴极激励等方式，使涂覆材料微粒子运动而附着在玻璃上，现有的供气装置都是连接供气瓶，不能进行气体存储，在气体不足、气压下降更换气体瓶的时候会对镀膜的效果造成影响，针对上述问题，本方案提出了一种新型磁控阴极多段式供气装置。。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种新型磁控阴极多段式供气装置。

根据本申请实施例提供的技术方案，一种新型磁控阴极多段式供气装置，包括供气管道、入气管道、抽气装置、排气管道和固定套，所述供气管道包括若干截供气连接段，在相邻所述供气连接段的首、尾两端设有相匹配的固定螺纹，且在供气连接段之间安装固定有所述固定套；在所述供气管道上设有所述入气管道，在所述供气管道的头端安装固定有所述抽气装置，所述抽气装置的出气口与所述排气管道连接，在所述入气管道和排气管道上均安装有电磁阀门，且在所述入气管道的内部安装有滤网，在所述入气管道的内壁上设有滑槽，在所述滑槽的尾端设有固定齿，在所述滤网的外边缘上设有与所述固定齿相匹配的固定槽。

本申请中，在所述排气管道上安装有气压控制器。

本申请中，所述入气管道设置在所述供气管道的尾端。

本申请中，所述固定套为连接法兰。

本申请中，在所述滤网的外边缘上设有拉杆。

本申请中，所述滤网的直径与入气管道的管内直径相匹配。

本申请中，所述入气管道的数量为2个。

综上所述，本申请的有益效果为：便于对气体进行存储及均匀的抽送气体至气室内；供气管道上供气连接段之间可进行拆卸，便于对管道内部进行清理；滤网可以保证进入气室内气体的干净，并且滤网可进行便捷的取出更换。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本申请结构示意图；

图2为本申请中供气连接段的结构示意图；

图3为本申请中滤网的结构示意图；

图4为本申请中入气管道的结构示意图。

图中标号：1.供气管道、2.入气管道、3.抽气装置、4.排气管道、5.固定套、6.电磁阀门、7.滤网、1.1.供气连接段、1.2.固定螺纹、2.1.滑槽、2.2.固定齿、7.1.固定槽。

具体实施方式