[实用新型]一种新型磁控阴极多段式供气装置

权利要求书

1.一种新型磁控阴极多段式供气装置，其特征是：包括供气管道(1)、入气管道(2)、抽气装置(3)、排气管道(4)和固定套(5)，所述供气管道(1)包括若干截供气连接段(1.1)，在相邻所述供气连接段(1.1)的首、尾两端设有相匹配的固定螺纹(1.2)，且在供气连接段(1.1)之间安装固定有所述固定套(5)；在所述供气管道(1)上设有所述入气管道(2)，在所述供气管道(1)的头端安装固定有所述抽气装置(3)，所述抽气装置(3)的出气口与所述排气管道(4)连接，在所述入气管道(2)和排气管道(4)上均安装有电磁阀门(6)，且在所述入气管道(2)的内部安装有滤网(7)，在所述入气管道(2)的内壁上设有滑槽(2.1)，在所述滑槽(2.1)的尾端设有固定齿(2.2)，在所述滤网(7)的外边缘上设有与所述固定齿(2.2)相匹配的固定槽(7.1)。

2.根据权利要求1所述的一种新型磁控阴极多段式供气装置，其特征是：在所述排气管道(4)上安装有气压控制器。

3.根据权利要求1所述的一种新型磁控阴极多段式供气装置，其特征是：所述入气管道(2)设置在所述供气管道(1)的尾端。

4.根据权利要求1所述的一种新型磁控阴极多段式供气装置，其特征是：所述固定套(5)为连接法兰。

5.根据权利要求1所述的一种新型磁控阴极多段式供气装置，其特征是：在所述滤网(7)的外边缘上设有拉杆(7.2)。

6.根据权利要求1所述的一种新型磁控阴极多段式供气装置，其特征是：所述滤网(7)的直径与入气管道(2)的管内直径相匹配。

7.根据权利要求1所述的一种新型磁控阴极多段式供气装置，其特征是：所述入气管道(2)的数量为2个。