[实用新型]一种平板加热装置

摘要

本实用新型涉及一种平板加热装置，包括加热板、内圈加热器、外圈加热器和边条，内圈加热器和外圈加热器均设在加热板的下表面，边条固定在加热板的上表面，外圈加热器围绕内圈加热器的外周布置，外圈加热器包括拐角，拐角相对于外圈加热器的主体结构向外突出设置。本实用新型中的平板加热装置的外圈加热器的膨胀变形并不会影响边条的位置，进而不会造成玻璃基板被顶起而导致其与加热板接触不好的现象。同时，能够减缓拐角处的热集中现象，有效改善了边角区域的热均匀性，提高了镀膜效果。

主权项

1.一种平板加热装置，其特征在于，包括加热板(1)、内圈加热器(2)、外圈加热器(3)和边条(4)；/n所述内圈加热器(2)和所述外圈加热器(3)均设在所述加热板(1)的下表面，所述边条(4)固定在所述加热板(1)的上表面；/n所述外圈加热器(3)围绕所述内圈加热器(2)的外周布置，所述外圈加热器(3)包括拐角，所述拐角相对于所述外圈加热器(3)的主体结构向外突出设置。/n