[实用新型]一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置

摘要

本实用新型公开一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置，该装置包括设备框架、真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构；真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构集成安装在设备框架上；基板旋转结构包括旋转步进电机、联轴器、磁流体密封轴，旋转步进电机通过联轴器与磁流体密封轴连接，旋转步进电机、联轴器、磁流体密封轴同轴设置。该装置在相同温度、真空度等变量下，测试不同有机试验材料的膜厚变化，通过数据采集并根据蒸镀区的厚度变化生成厚度与温度、真空度、行程间的函数关系式，由此得到不同材料的蒸镀膜厚变化速率，为产业化制备不同厚度的OLED薄膜提供工艺参考。

主权项

1.一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置，其特征在于，包括：设备框架(1)、真空舱(6)、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构；真空舱(6)、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构集成安装在设备框架(1)上；所述基板旋转结构包括旋转步进电机(2)、联轴器(16)、磁流体密封轴(9)，旋转步进电机(2)通过联轴器(16)与磁流体密封轴(9)连接，旋转步进电机(2)、联轴器(16)、磁流体密封轴(9)同轴设置；所述法兰升降结构包括：上法兰(17)、下法兰(18)，真空舱(6)的顶部通过O型密封圈与上法兰(17)连接，真空舱(6)的底部通过O型密封圈与下法兰(18)连接，磁流体密封轴(9)穿过上法兰(17)并伸入真空舱(6)内与上加热板(4)连接；所述上法兰(17)通过第一真空电极(3)与上加热板(4)连接；下法兰(18)的侧壁连接有分子泵(7)与真空规；下法兰(18)的顶部设有下加热板(13)，下加热板(13)同轴连接有转动盘(19)，转动盘(19)预留有缺口，下加热板(13)、转动盘(19)通过第二真空电极(15)与下法兰(18)连接；下法兰(18)与真空舱(6)的连接处设有热电偶(14)。