[实用新型]一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置有效
| 申请号： | 201920040179.1 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN209508398U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 孔令杰;吴克松;李明;李晓丽 | 申请（专利权）人： | 合肥百思新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24;C23C14/12;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 238000 安徽省合肥市巢*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁流体密封轴 旋转步进电机 基板旋转 联轴器 蒸镀膜 法兰升降 复合装置 膜厚检测 设备框架 真空舱 蒸发量 种检测 本实用新型 函数关系式 厚度变化 结构集成 膜厚变化 试验材料 数据采集 同轴设置 产业化 蒸镀 制备 薄膜 测试 参考 | ||
1.一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置，其特征在于，包括：设备框架(1)、真空舱(6)、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构；真空舱(6)、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构集成安装在设备框架(1)上；
所述基板旋转结构包括旋转步进电机(2)、联轴器(16)、磁流体密封轴(9)，旋转步进电机(2)通过联轴器(16)与磁流体密封轴(9)连接，旋转步进电机(2)、联轴器(16)、磁流体密封轴(9)同轴设置；
所述法兰升降结构包括：上法兰(17)、下法兰(18)，真空舱(6)的顶部通过O型密封圈与上法兰(17)连接，真空舱(6)的底部通过O型密封圈与下法兰(18)连接，磁流体密封轴(9)穿过上法兰(17)并伸入真空舱(6)内与上加热板(4)连接；
所述上法兰(17)通过第一真空电极(3)与上加热板(4)连接；下法兰(18)的侧壁连接有分子泵(7)与真空规；下法兰(18)的顶部设有下加热板(13)，下加热板(13)同轴连接有转动盘(19)，转动盘(19)预留有缺口，下加热板(13)、转动盘(19)通过第二真空电极(15)与下法兰(18)连接；下法兰(18)与真空舱(6)的连接处设有热电偶(14)。
2.根据权利要求1所述的检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置，其特征在于，所述真空舱(6)呈中空圆筒状，真空舱(6)的圆筒状壁部设有观察窗(11)，观察窗(11)上开设有真空舱门(12)。
3.根据权利要求1所述的检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置，其特征在于，设备框架(1)的上部侧壁设有控制面板(8)，中部侧壁设有电气安装区域(5)。
4.根据权利要求1所述的检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置，其特征在于，所述膜厚检测结构包括膜厚仪(10)，上法兰(17)上开设有安装孔，膜厚仪(10)穿过安装孔且其探头伸入真空舱(6)内。
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