[实用新型]一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置

说明书

本实用新型公开一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置，该装置包括设备框架、真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构；真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构集成安装在设备框架上；基板旋转结构包括旋转步进电机、联轴器、磁流体密封轴，旋转步进电机通过联轴器与磁流体密封轴连接，旋转步进电机、联轴器、磁流体密封轴同轴设置。该装置在相同温度、真空度等变量下，测试不同有机试验材料的膜厚变化，通过数据采集并根据蒸镀区的厚度变化生成厚度与温度、真空度、行程间的函数关系式，由此得到不同材料的蒸镀膜厚变化速率，为产业化制备不同厚度的OLED薄膜提供工艺参考。

技术领域

本实用新型涉及二极管制备技术领域，具体涉及一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置。

背景技术

当前高校、科研院校及企业在进行薄膜新材料的科研与小批量制备时，采用真空镀膜系统来实现多类薄膜材料的生长，主要有金属蒸镀、有机蒸镀设备。有机蒸镀设备主要用于有机电致发光工艺研究、有机照明器件工艺研究、有机太阳能电池工艺研究和有机半导体工艺研究，工作效率高，具有事半功倍的效果。

目前有机发光二极管(OLED)的主流制备工艺是蒸镀技术，采用热蒸发有机材料的原理，即把有机材料填入蒸镀组件中，在真空环境下升温加热，使罐体有机材料熔融挥发或者升华形成气态，气体流沉积到玻璃基板上，形成一层层的有机薄膜，制备成OLED元器件。

目前的蒸镀设备包括蒸镀组件，蒸镀组件包括坩埚和坩埚喷嘴，喷嘴在受热不均时容易造成堵塞，有机小分子在蒸发后容易在真空舱体顶部基板上集聚产生局部不均匀现象，同时为了在实验室摸索不同材料在相同条件下的蒸镀速率，需要探索有机小分子材料蒸镀产线前期工艺，以为产业规模化制膜提供有效的参考价值。

基于上述因素考虑，本实用新型通过测试不同材料的蒸镀膜厚变化速率，可以为产业化制备不同厚度的OLED薄膜提供工艺参考，便于相关企业合理规划产线布局。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置，将真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构集成安装在设备框架上，在相同温度、真空度等变量下，测试不同有机试验材料的膜厚变化，通过数据采集并根据蒸镀区的厚度变化生成厚度与温度、真空度、行程间的函数关系式，由此得到不同材料的蒸镀膜厚变化速率，为产业化制备不同厚度的OLED薄膜提供工艺参考。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

本实用新型提供了一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置，包括：设备框架、真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构；真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构集成安装在设备框架上；

所述基板旋转结构包括旋转步进电机、联轴器、磁流体密封轴，旋转步进电机通过联轴器与磁流体密封轴连接，旋转步进电机、联轴器、磁流体密封轴同轴设置；

所述法兰升降结构包括：上法兰、下法兰，真空舱的顶部通过O型密封圈与上法兰连接，真空舱的底部通过O型密封圈与下法兰连接，磁流体密封轴穿过上法兰并伸入真空舱内与上加热板连接；

所述上法兰通过第一真空电极与上加热板连接；下法兰的侧壁连接有分子泵与真空规；下法兰的顶部设有下加热板，下加热板同轴连接有转动盘，转动盘预留有缺口，下加热板、转动盘通过第二真空电极与下法兰连接；下法兰与真空舱的连接处设有热电偶。

作为本实用新型进一步的方案，所述真空舱呈中空圆筒状，真空舱的圆筒状壁部设有观察窗，观察窗上开设有真空舱门。

作为本实用新型进一步的方案，设备框架的上部侧壁设有控制面板，中部侧壁设有电气安装区域。

作为本实用新型进一步的方案，所述膜厚检测结构包括膜厚仪，上法兰上开设有安装孔，膜厚仪穿过安装孔且其探头伸入真空舱内。