[实用新型]芯片加工用多功能夹具有效
申请号: | 201920038606.2 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN209434163U | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 徐鹏嵩;罗跃浩;赵山;黄建军;胡海洋 | 申请(专利权)人: | 苏州联讯仪器有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 王健 |
地址: | 215000 江苏省苏州市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种芯片加工用多功能夹具,包括层叠设置的底座、弹片限位板和弹片压盖,所述底座上开有若干供芯片嵌入的定位槽,所述弹片包括连接部、形变部和定位部,所述连接部和定位部通过形变部连接,所述定位槽具有一定位直角,所述定位部端部开有一直角定位缺口,所述定位直角的两边与芯片相邻两边接触,所述直角定位缺口的两边与芯片的另外两边接触,所述弹片压盖底面与形变部挤压接触,所述弹片限位板和弹片压盖上开有对应定位槽的条形通孔;所述弹片的连接部通过一固定螺丝安装于底板上,所述弹片限位板上开有对应固定螺丝的调节通孔。本实用新型具有定位精准、不易松动的优点,进而能够有效的提高小尺寸芯片的加工效率。 | ||
搜索关键词: | 弹片 定位部 定位槽 限位板 形变部 两边 压盖 本实用新型 多功能夹具 固定螺丝 芯片加工 芯片 底座 底板 小尺寸芯片 层叠设置 定位精准 定位直角 挤压接触 加工效率 条形通孔 直角定位 角定位 嵌入的 底面 通孔 松动 | ||
【主权项】:
1.一种芯片加工用多功能夹具,其特征在于:包括层叠设置的底座(1)、弹片限位板(2)和弹片压盖(3),所述底座(1)上开有若干供芯片(8)嵌入的定位槽(4),若干弹片(5)安装于底座(1)上并与定位槽(4)对应设置;所述弹片(5)包括安装于底座(1)上的连接部(52)、向弹片压盖(3)一侧弯曲的形变部(53)和位于定位槽(4)内的定位部(54),所述连接部(52)和定位部(54)通过形变部(53)连接,所述定位槽(4)具有一定位直角(41),所述定位部(54)端部开有一直角定位缺口(51),所述定位直角(41)的两边与芯片(8)相邻两边接触,所述直角定位缺口(51)的两边与芯片(8)的另外两边接触,所述弹片压盖(3)底面与形变部(53)挤压接触,所述弹片限位板(2)和弹片压盖(3)上开有对应定位槽(4)的条形通孔(6);所述弹片(5)的连接部(52)通过一固定螺丝(501)安装于底板(11)上,所述弹片限位板(2)上开有对应固定螺丝(501)的调节通孔(22)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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