[实用新型]自动化工艺工作系统有效
| 申请号： | 201920027808.7 | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN209601611U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 陈赞仁;郭中一;吴至钦 | 申请（专利权）人： | 东捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/05 | 分类号： | B65G49/05;B65G47/52;B65G35/00;B65G47/90;B65G47/91 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种自动化工艺工作系统，包括工作站、输送轨道、入料输送装置、出料输送装置及转载装置。工作站包括框架、搬送装置及两工艺设备。搬送装置连接框架，且可相对框架移动，并用以搬送待测基板。两工艺设备在框架内，且用以对待测基板进行工艺作业。输送轨道穿过工作站的框架。入料输送装置连接输送轨道，用以将待测基板送入工作站。出料输送装置连接输送轨道，用以将待测基板搬出工作站。转载装置连接工作站的框架，且搬送出料输送装置上的待测基板。 | ||
| 搜索关键词： | 工作站 待测基板 输送装置 出料输送装置 连接输送轨道 自动化工艺 搬送装置 工艺设备 工作系统 输送轨道 转载装置 入料 本实用新型 工艺作业 框架移动 连接框架 搬出 基板 送出 送入 并用 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种自动化工艺工作系统，其特征在于，包括：一工作站，包括一框架、一搬送装置及两工艺设备，该搬送装置连接该框架，且能够相对该框架移动，并用以搬送待测基板，该两工艺设备设在框架内，且用以对该待测基板进行一工艺作业；一输送轨道，穿过该工作站的框架；一入料输送装置，连接该输送轨道，用以将该待测基板送入该工作站；一出料输送装置，连接该输送轨道，用以将该待测基板搬出该工作站；及一转载装置，连接该工作站的框架，且搬送该出料输送装置上的该待测基板。
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